La neteja de plasma és un mètode provat, eficaç, econòmic i ambientalment segur per a la preparació crítica de superfícies.La neteja de plasma amb plasma d'oxigen elimina els olis i greixos naturals i tècnics a escala nanomètrica i redueix la contaminació fins a 6 vegades en comparació amb els mètodes tradicionals de neteja humida, inclosos els mateixos residus de neteja amb dissolvents.La neteja de plasma produeixuna superfície prístina, preparada per a unir-se o processar posteriorment, sense cap material de rebuig nociu.

Com funciona la neteja amb plasma

La llum ultraviolada generada al plasma és molt eficaç per trencar la majoria dels enllaços orgànics dels contaminants superficials.Això ajuda a trencar olis i greixos.La segona acció de neteja la duu a terme les espècies energètiques d'oxigen creades al plasma.Aquestes espècies reaccionen amb els contaminants orgànics per formar principalment aigua i diòxid de carboni que s'eliminen contínuament (bombejades) de la cambra durant el processament.

Si la part a serEl plasma netejat consta de fàcilment oxidableEn el seu lloc s'utilitzen materials com la plata o el coure, gasos inerts com l'argó o l'heli.Els àtoms i ions activats per plasma es comporten com un sorra molecular i poden descompondre els contaminants orgànics.Aquests contaminants es vaporitzen de nou i s'evacuen de la cambra durant el processament.