La neteja de superfícies de plasma és un procés en què les impureses i els contaminants de la superfície de la mostra s'eliminen mitjançant la creació de plasma d'alta energia a partir de partícules gasoses, va ser dissenyat per a diverses aplicacions com ara neteja de superfícies, esterilització de superfícies, activació de superfícies, alteració de l'energia superficial, preparació de la superfície per a l'enllaç i l'adhesió, modificació de la química de la superfície.